真空箱式氦检漏设备

在电力行业高压环网柜生产中的应用

真空箱式氦检漏设备适用对充气环网柜（以下简称工件）进行真空法检漏。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。

一、内腔表面光洁度（现设备腔体都是用的热板）固光洁度镜面处理达到“▽7”

做为设备验收标准。

二、腔体外部面板烤漆处理确保色泽均匀、亮度提升，加强筋及焊口、焊接时残留焊瘤、焊渣、上漆时进行多面抛光研磨处理。

三、设备腔体部分选用SS304板10mm厚，腔体法兰选用SS304板成活30mm.加强筋选用30mm*120mm.门面板成活15mm.确保腔体部分厚实、美观。以此数据作为验收标准。

四、设备外围护网选用40mm*40mm*5mm方管。网格选用φ8mm*8mm确保护栏厚实美观。（漆色执行用户技术要求外观颜色）

七、控制柜操作台材料选用2.5mm板材。喷塑涂层外观喷涂后距离300mm.自然光或40W日光灯下视线与涂层45°角观察表面平整、光亮、流平性好。桔纹手感不明显。不得有流痕，麻坑、缩孔、颜料se斑等缺陷，厚度50-80μm。氦质谱检漏原理氦质谱检漏技术是以无色、无味的惰性气体氦气为示踪介质、以磁质谱分析仪为检测仪器，用于检漏的一种检测技术，它的检漏灵敏度可达10-14～10-15Pa?m3/s，可以准确确定漏孔位置和漏率。操作台抽屉进出顺滑、平稳。依据以上作为验收标准。

八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）

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用氦气作为氦质谱检漏气体的原因

1、氦在空气中及真空系统残余气体中的含量(在空气中约含5.2ppm)， 在材料出气中也很少，因此本底压力小，输出的本底电流也小。正因为本底小，由某些原因引起本底的波动，亦即本底噪声也

就小，因此微小漏率也就能反应出来，灵敏度高。

2、氦的质量小(相对分子质量为4)，易于穿过漏孔。这样，氦较除氢以外的其他气体通过同-漏孔的漏率就大，容易发现，灵敏度高。

氦质谱检漏仪的基本原理与结构

氦质谱检漏仪一般由质谱管,真空系统和电子系统组成。其中质谱管包括离子源，质量分析器和离子检测器;真空系统-般由分子泵机械泵、电磁阀和真空计组成。离子源的作用是将原子电离成带电离子并聚焦成束，以-定能量注入质分析器，目前常用的电子轰击型离子源有尼尔型和震荡型两种形式。八、工件小车托盘（见设备图纸作为验收依据）期望大家在选购氦检漏设备时多一份细心，少一份浮躁，不要错过细节疑问。质分析器的作用起将各类离子按其质荷比的不同实现分离。子检测器的作用是手机质星分析器所选定的氦离子流并加以放大，再通过比对运算，得出泄漏率

真空系统的作用是获取质谱过程所需的真空，同时完成被检件的抽空和氦气的引入。空系统-般由分子泵、机械泵、电磁阀和真空计组成组成。按照真空系统的不同结构，检漏仪分为常规系统和逆扩散两种。6)、维持泵有一定的氦分流作用,不宜过大(不超过41),清洁泵也同样。常规系统多用于早期的氦质谱检漏仪,该种检漏仪的被检件与高真空部分直接相通，由被检件泄入的氮气首先到达质谱管被检到，因而具有较高的灵敏度,但是会对质谱管有污染。逆扩散系统检漏仪与常规系统相比，被检件只与低真空相通,因

此只需将被检工件抽至低真空就能进行检漏，氦气是逆扩散到质谱管,不会对系统有污染,因此被广泛采用,已成为市场的主品。

机械泵的工作方式不-样,分为干泵检漏仪和油泵检漏仪，油泵工作会有油雾排出,污染工作环境，干泵没有油雾排出对工作环境没有影响。在半导体洁净车间都是使用干泵检漏仪。